PARTO 1
Krisolo, semtenilo kaj gvidringo en SiC kaj AIN-unukristala forno estis kultivitaj per PVT-metodo
Kiel montrite en Figuro 2 [1], kiam fizika vaportransporta metodo (PVT) estas uzata por prepari SiC, la semkristalo estas en la relative malalta temperaturregiono, la SiC-krudmaterialo estas en la relative alta temperatura regiono (super 2400).℃), kaj la krudaĵo putriĝas por produkti SiXCy (ĉefe inkluzive de Si, SiC₂, Si₂C, ktp.).La vaporfaza materialo estas transportita de la alta temperaturregiono al la semkristalo en la malalta temperaturregiono, forming semkernoj, kreskante, kaj generante ununurajn kristalojn.La termikaj kampomaterialoj uzataj en ĉi tiu procezo, kiel fandujo, fluo-gvidringo, semokristala tenilo, devas esti imunaj al alta temperaturo kaj ne poluos SiC-krudmaterialojn kaj SiC-unopajn kristalojn.Simile, la varmigaj elementoj en la kresko de AlN ununuraj kristaloj devas esti rezistemaj al Al-vaporo, N₂korodo, kaj bezonas havi altan eŭtektikan temperaturon (kun AlN) por mallongigi la kristalan preparperiodon.
Oni trovis, ke la SiC[2-5] kaj AlN[2-3] preparitaj deTaC kovritagrafitaj termikaj kampomaterialoj estis pli puraj, preskaŭ neniu karbono (oksigeno, nitrogeno) kaj aliaj malpuraĵoj, malpli da randdifektoj, pli malgranda resistiveco en ĉiu regiono, kaj la mikropora denseco kaj akvaforta fosaĵdenseco estis signife reduktitaj (post KOH akvaforto), kaj la kristala kvalito. estis multe plibonigita.Krome,TaC fandujopezo-indico estas preskaŭ nulo, aspekto estas ne-detrua, povas esti reciklita (vivo ĝis 200h), povas plibonigi la daŭripovon kaj efikecon de tia ununura kristala preparado.
FIG.2. (a) Skema diagramo de SiC unukristala ingota kultiva aparato per PVT-metodo
(b) SupreTaC kovritasemkrampo (inkluzive de SiC-semo)
(c)TAC-tegita grafita gvidringo
PARTO/2
MOCVD GaN epitaksa tavolo kreskanta hejtilo
Kiel montrite en Figuro 3 (a), MOCVD GaN-kresko estas kemia vapora demetteknologio uzanta organometran putriĝantan reagon por kreskigi maldikaj filmoj per vapora epitaksia kresko.La temperaturprecizeco kaj unuformeco en la kavaĵo igas la hejtilon fariĝi la plej grava kerna komponanto de MOCVD-ekipaĵo.Ĉu la substrato povas esti varmigita rapide kaj unuforme dum longa tempo (sub ripeta malvarmigo), la stabileco ĉe alta temperaturo (rezisto al gasa korodo) kaj la pureco de la filmo rekte influos la kvaliton de la filmo-demetado, la dikecon-konsistenco, kaj la agado de la blato.
Por plibonigi la efikecon kaj reciklan efikecon de la hejtilo en MOCVD GaN-kresksistemo,TAC-tegitagrafita hejtilo estis sukcese enkondukita.Kompare kun GaN epitaxial tavolo kreskigita per konvencia hejtilo (uzante pBN tegaĵo), GaN epitaxial tavolo kreskita per TaC hejtilo havas preskaŭ la saman kristala strukturo, dikeco unuformeco, internaj difektoj, malpureco dopado kaj poluado.Krome, laTaC tegaĵohavas malaltan resistivecon kaj malaltan surfacan emisivecon, kio povas plibonigi la efikecon kaj unuformecon de la hejtilo, tiel reduktante elektrokonsumon kaj varmoperdon.La poreco de la tegaĵo povas esti ĝustigita kontrolante la procezparametrojn por plu plibonigi la radiadkarakterizaĵojn de la hejtilo kaj plilongigi ĝian funkcidaŭron [5].Ĉi tiuj avantaĝoj farasTaC kovritagrafitaj hejtiloj estas bonega elekto por MOCVD GaN-kresksistemoj.
FIG.3. (a) Skema diagramo de MOCVD-aparato por GaN epitaksa kresko
(b) Moldita TAC-tegita grafita hejtilo instalita en MOCVD-aranĝo, ekskludante bazon kaj krampon (ilustraĵo montrante bazon kaj krampon en hejtado)
(c) TAC-tegita grafita hejtilo post 17 GaN epitaxial kresko.[6]
PARTO/3
Tegita susceptor por epitaksio (oblatportilo)
Oblato portanto estas grava struktura komponento por la preparado de SiC, AlN, GaN kaj aliaj triaklasaj semikonduktaĵaj oblatoj kaj epitaksia oblatkresko.La plej multaj el la oblatportiloj estas faritaj el grafito kaj kovritaj per SiC-tegaĵo por rezisti korodon de procezgasoj, kun epitaksa temperaturintervalo de 1100 ĝis 1600.°C, kaj la koroda rezisto de la protekta tegaĵo ludas decidan rolon en la vivo de la oblaportisto.La rezultoj montras ke la korodofteco de TaC estas 6 fojojn pli malrapida ol SiC en alta temperatura amoniako.En alta temperatura hidrogeno, la koroda rapideco estas eĉ pli ol 10 fojojn pli malrapida ol SiC.
Estis pruvite per eksperimentoj, ke la pletoj kovritaj per TaC montras bonan kongruecon en la blua lumo GaN MOCVD-procezo kaj ne enkondukas malpuraĵojn.Post limigitaj procezaj alĝustigoj, gvidiloj kreskigitaj per TaC-portiloj elmontras la saman efikecon kaj unuformecon kiel konvenciaj SiC-portantoj.Tial, la servodaŭro de TAC-tegitaj paledoj estas pli bona ol tiu de nuda ŝtona inko kajSiC tegitagrafitaj paletoj.
Afiŝtempo: Mar-05-2024