Tantala carburo kovrita susceptor subtena platoestas susceptor aŭ subtena strukturo kiu estas kovrita per maldika tavolo detantalokarbido. Tiu tegaĵo povas esti formita sur la susceptorsurfaco per teknikoj kiel ekzemple fizika vapordemetado (PVD) aŭ kemia vapordemetado (CVD), donante al la susceptor la superajn trajtojn detantalokarbido.
Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio. Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava. Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
La ĉeftrajtoj de tantalokarbido kovritaj bazsubtenaj platoj inkluzivas:
1. Alta temperaturstabileco: Tantala karbido havas bonegan altan temperaturan stabilecon, igante la tegitan bazan subtenan platon taŭga por subtenaj bezonoj en alta temperatura labormedio.
2. Koroda rezisto: Tantalo-karbura tegaĵo havas bonan korodan reziston, povas rezisti kemian korodon kaj oksidadon, kaj plilongigi la servon de la bazo.
3. Alta malmoleco kaj eluziĝo-rezisto: La alta malmoleco de tantala karbura tegaĵo donas al la baza subtena plato bonan eluziĝon, kiu taŭgas por okazoj postulantaj altan eluziĝon.
4. Kemia stabileco: Tantala karbido havas altan stabilecon al diversaj kemiaj substancoj, igante la kovritan bazan subtenan teleron bone funkcii en iuj korodaj medioj.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
