Tantala carburo kovrita grafitfolioestas grafita materialo kun maldika tavolo detantalokarbidosur la surfaco de la substrato. La maldika tavolo de tantalkarbido estas kutime formita sur la surfaco de la grafitsubstrato per teknikoj kiel ekzemple fizika vapordemetado (PVD) aŭ kemia vapordemetado (CVD). Ĉi tiu tegaĵo havas bonegajn proprietojn kiel alta malmoleco, bonega eluziĝo-rezisto, koroda rezisto kaj alta temperatura stabileco.
Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio. Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava. Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
La ĉefaj avantaĝoj de tantala carburo kovrita grafita folio inkluzivas:
1. Alttemperatura rezisto: Tantala karbido havas altan fandpunkton kaj bonegan altan temperaturan stabilecon, igante la kovritan grafitan folion taŭga por uzo en altaj temperaturoj.
2. Koroda rezisto: Tantala karbura tegaĵo povas rezisti la erozion de multaj kemiaj korodaj substancoj kaj plilongigi la servon de la materialo.
3. Alta malmoleco: La alta malmoleco de la maldika tavolo de tantala karburo provizas bonan eluziĝon kaj taŭgas por aplikoj postulantaj altan eluziĝon.
4. Kemia stabileco: Tantala karbura tegaĵo havas bonegan stabilecon al kemia korodo kaj taŭgas por uzo en iuj korodaj amaskomunikiloj.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC-tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
