Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Tantalkarbido tegitaj oblatportiloj estas vaste uzitaj en oblatpretigo kaj pritraktado de procezoj en semikonduktaĵoproduktadprocezoj. Ili provizas stabilan subtenon kaj protekton por certigi la sekurecon, precizecon kaj konsistencon de oblatoj dum la produktada procezo. Tantalaj karburaj tegaĵoj povas plilongigi la funkcidaŭron de la portanto, redukti kostojn kaj plibonigi la kvaliton kaj fidindecon de duonkonduktaĵoj.
Priskribo de tantala karbido kovrita oblaportilo estas kiel sekvas:
1. Materiala elekto: Tantala karbido estas materialo kun bonega rendimento, alta malmoleco, alta fandpunkto, koroda rezisto kaj bonegaj mekanikaj propraĵoj, do ĝi estas vaste uzata en semikonduktaĵa fabrikado.
2. Surfaca tegaĵo: Tantalo-karbura tegaĵo estas aplikata al la surfaco de obla portanto per speciala tega procezo por formi unuforman kaj densan tantalan karburan tegaĵon. Ĉi tiu tegaĵo povas provizi plian protekton kaj eluziĝoreziston, havante bonan varmokonduktecon.
3. Plateco kaj precizeco: Tantalo-karburo tegita oblaportilo havas altan gradon da plateco kaj precizeco, certigante la stabilecon kaj precizecon de oblatoj dum la fabrikado. La plateco kaj finpoluro de la portanta surfaco estas kritikaj por certigi la kvaliton kaj agadon de la oblato.
4. Temperaturo-stabileco: Tantalo-karburo kovritaj oblatoj-portantoj povas konservi stabilecon en altaj temperaturaj medioj sen deformado aŭ malstreĉiĝo, certigante la stabilecon kaj konsistencon de oblatoj en alttemperaturaj procezoj.
5. Koroda rezisto: Tantalo-karburaj tegaĵoj havas bonegan korodan reziston, povas rezisti la erozion de kemiaĵoj kaj solviloj, kaj protekti la portanton kontraŭ likva kaj gasa korodo.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
