Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj.La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Grafito estas bonega alt-temperatura materialo, sed ĝi oksidiĝas facile ĉe altaj temperaturoj.Eĉ en malplenaj fornoj kun inerta gaso, ĝi ankoraŭ povas suferi malrapidan oksigenadon.Uzante tegaĵon de CVD-tantalkarbido (TaC) povas efike protekti la grafitan substraton, disponigante la saman alt-temperaturan reziston kiel grafito.TaC ankaŭ estas inerta materialo, kio signifas, ke ĝi ne reagos kun gasoj kiel argono aŭ hidrogeno ĉe altaj temperaturoj.EnketoTantala Karburo CVD Tegaĵo Crucible nun!
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio.Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava.Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC-tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj.Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
