TaC Coated Plate estas speciala disko desegnita por uzo en SiC epitaksiaj procezoj, kreita kun precizeco el altkvalita grafita materialo. Ĝia surfaco estas zorge kovrita per tantala karbido (TaC), komponaĵo konata pro ĝia escepta pureco kaj forto. La TaC-tegaĵo plibonigas la fortikecon kaj reziston de la telero al altaj temperaturoj, igante ĝin ideala por la postulemaj kondiĉoj de SiC epitaksiaj procezoj.
Ĉi tiu pionira TaC Tegita Plato estas speciala disko desegnita por uzo en SiC epitaksiaj procezoj, kreita kun precizeco el altkvalita grafita materialo. La surfaco de TaC Coated Plate estas zorge kovrita per tantala karbido (TaC), komponaĵo konata pro ĝia escepta pureco kaj forto. funkcias kiel fidinda platformo por portado de oblatoj dum diversaj stadioj de SiC epitaksa kresko. Ĝia altpura grafita bazo disponigas stabilan kaj inertan surfacon, dum la TaC-tegaĵo aldonas kroman tavolon de protekto kontraŭ kemiaj reagoj kaj eluziĝo.
SemikoepokoTaC Coated Plate estas personecigita laŭ la specifaj postuloj de la klientoj, certigante optimuman agadon kaj kongruon kun iliaj SiC epitaxial sistemoj. Ĉu ĝi estas grandeco, formo aŭ aliaj specifoj, ĉi tiuj platoj estas tajloritaj por renkonti la unikajn bezonojn de ĉiu apliko.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
