TaC tegaĵoestas grava materiala tegaĵo, kiu estas kutime preparita sur grafita bazo per metalorganika kemia vapordemetado (MOCVD) teknologio. Ĉi tiu tegaĵo havas bonegajn proprietojn, kiel alta malmoleco, bonega eluziĝorezisto, alta temperaturrezisto kaj kemia stabileco, kaj taŭgas por diversaj altpostulaj inĝenieraj aplikoj.
MOCVD-teknologio estas ofte uzita maldikfilma kreskoteknologio kiu deponas la deziratan kunmetaĵfilmon sur la substratsurfaco reagante metalorganikajn antaŭulojn kun reaktivaj gasoj ĉe altaj temperaturoj. Kiam oni preparasTaC tegaĵo, elektante taŭgajn metalajn organikajn antaŭulojn kaj karbonfontojn, kontrolante reagkondiĉojn kaj deponajn parametrojn, unuforma kaj densa TaC-filmo povas esti deponita sur grafita bazo.
Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio. Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava. Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC-tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
