TaC tegitaj grafitaj gvidringojrilatas al la demetado de maldika tavolo detantalokarbidosur la surfaco de grafita gvida ringo por plibonigi ĝian eluziĝon, altan temperaturon kaj kemian stabilecon. Tiu tegaĵo estas kutime formita sur la surfaco de grafita gvidringo per teknikoj kiel ekzemple fizika vapordemetado (PVD) aŭ kemia vapordemetado (CVD).
Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio. Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava. Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
La ĉefaj trajtoj de TaC tegitaj grafitaj gvidringoj inkluzivas:
1. Alttemperatura rezisto: TaC-tegaĵo havas bonegan altan temperaturan stabilecon kaj povas konservi stabilecon en altaj temperaturaj medioj.
2. Eluziĝo-rezisto: La alta malmoleco de la maldika tavolo de tantala carburo donas al la gvida ringo bonan eluziĝon kaj plilongigas sian servon.
3. Kemia stabileco: TaC-tegaĵo havas altan stabilecon kontraŭ kemia korodo, igante ĝin taŭga por aplikoj en iuj korodaj amaskomunikiloj.
4. Redukti frotadon: TaC-tegaĵo povas efike redukti la froton inter la grafita gvida ringo kaj aliaj komponantoj kaj plibonigi la efikecon de mekanikaj stampoj.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC-tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
