TaC kovritaj epitaksaj oblatportilojestas kutime uzataj en la preparado de alt-efikecaj optoelektronikaj aparatoj, potencaj aparatoj, sensiloj kaj aliaj kampoj. Ĉi tioepitaksa oblaportilorilatas al la demetado deTaCmaldika filmo sur la substrato dum la kristala kreskoprocezo por formi oblaton kun specifa strukturo kaj agado por posta aparato-preparo.
Kemia vapordemetado (CVD) teknologio estas kutime uzita por prepariTaC kovritaj epitaksaj oblatportiloj. Reagante metalorganikaj antaŭuloj kaj karbonfontogasoj ĉe alta temperaturo, TaC-filmo povas esti deponita sur la surfaco de la kristalsubstrato. Ĉi tiu filmo povas havi bonegajn elektrajn, optikajn kaj mekanikajn ecojn kaj taŭgas por la preparado de diversaj alt-efikecaj aparatoj.
Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio. Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava. Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC-tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
