Silicikarburo oblatoestas farita el alta pureca silicia pulvoro kaj alta pureca karbona pulvoro kiel krudaĵoj, kaj silicia karbura kristalo estas kultivita per fizika vaportransiga metodo (PVT), kaj prilaborita ensilicio-karbura oblato.
① Sintezo de krudmaterialo.Altpura silicia pulvoro kaj alta pureca karbona pulvoro estis miksitaj laŭ certa proporcio, kaj siliciaj karburaj partikloj estis sintezitaj ĉe alta temperaturo super 2,000℃.Post disbatado, purigado kaj aliaj procezoj, la altpuraj siliciokarburaj pulvoraj krudaĵoj, kiuj plenumas la postulojn de kristala kresko, estas preparitaj.
② Kristala kresko.Uzante altpuran SIC-pulvoron kiel krudmaterialon, la kristalo estis kreskigita per fizika vaportransigo (PVT) metodo uzante mem-evoluitan kristalan kreskofornon.
③ ingota prilaborado.La akirita silicikarbura kristala ingoto estis orientita per X-radia unukristala orientilo, tiam muelita kaj rulita, kaj prilaborita en norman diametran silician karburkristalon.
④ Kristala kortego.Uzante multlinian tranĉan ekipaĵon, siliciokarburaj kristaloj estas tranĉitaj en maldikaj folioj kun dikeco de ne pli ol 1 mm.
⑤ Blato muelanta.La oblato estas muelita al la dezirata plateco kaj krudeco per diamantaj muelantaj fluidoj de malsamaj partiklograndecoj.
⑥ Blato polurado.La polurita siliciokarbido sen surfaca damaĝo estis akirita per mekanika polurado kaj kemia mekanika polurado.
⑦ Detekto de blato.Uzu optikan mikroskopon, Rentgenfotan difraktometron, atomfortan mikroskopon, ne-kontaktan resistivecan testilon, surfacan planectestilon, surfacan difekton ampleksan testilon kaj aliajn instrumentojn kaj ekipaĵojn por detekti la mikrotubuldensecon, kristalan kvaliton, surfacan malglatecon, resistivecon, varpiĝon, kurbiĝon, dikeco ŝanĝo, surfaco grataĵo kaj aliaj parametroj de silicio carburo oblato.Laŭ ĉi tio, la kvalita nivelo de la blato estas determinita.
⑧ Purigado de blato.La silicio-karbura polura folio estas purigita per puriga agento kaj pura akvo por forigi la restan poluran likvaĵon kaj alian surfacan malpuraĵon sur la polura folio, kaj tiam la oblato estas blovita kaj skuita seka per ultra-alta pureca nitrogeno kaj sekmaŝino;La oblato estas enkapsuligita en pura tuka skatolo en super-pura kamero por formi kontraŭfluan pretan uzeblan silicikarburoblaton.
Ju pli granda estas la peceto, des pli malfacilas la responda kristala kresko kaj pretiga teknologio, kaj ju pli alta la fabrikada efikeco de kontraŭfluaj aparatoj, des pli malalta la unuokosto.
Afiŝtempo: Nov-24-2023