Semicerafiere proponasGa2O3Epitaksio, pintnivela solvo dizajnita por puŝi la limojn de potenca elektroniko kaj optoelektroniko. Ĉi tiu progresinta epitaksia teknologio ekspluatas la unikajn ecojn de Galiooksido (Ga2O3) por liveri superan efikecon en postulemaj aplikoj.
Ĉefaj Trajtoj:
• Escepta Larĝa Bandgap: Ga2O3Epitaksioprezentas ultra-larĝan bandgap, ebligante pli altajn paneajn tensiojn kaj efikan funkciadon en alt-potencaj medioj.
•Alta Termika Kondukto: La epitaksia tavolo provizas bonegan termikan konduktivecon, certigante stabilan operacion eĉ sub alt-temperaturaj kondiĉoj, igante ĝin ideala por altfrekvencaj aparatoj.
•Supera Materiala Kvalito: Atingu altan kristalan kvaliton kun minimumaj difektoj, certigante optimuman agadon kaj longvivecon, precipe en kritikaj aplikoj kiel potencaj transistoroj kaj UV-detektiloj.
•Verstileco en Aplikoj: Perfekte taŭga por potenca elektroniko, RF-aplikoj kaj optoelektroniko, provizante fidindan fundamenton por venontgeneraciaj duonkonduktaĵoj.
Malkovru la potencialon deGa2O3Epitaksiokun la novigaj solvoj de Semicera. Niaj epitaksiaj produktoj estas dezajnitaj por plenumi la plej altajn normojn de kvalito kaj rendimento, ebligante viajn aparatojn funkcii kun maksimuma efikeco kaj fidindeco. Elektu Semicera por avangarda duonkondukta teknologio.
| Eroj | Produktado | Esploro | Dummy |
| Kristalaj Parametroj | |||
| Politipo | 4H | ||
| Eraro de surfaca orientiĝo | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektraj Parametroj | |||
| Dopanto | n-tipa Nitrogeno | ||
| Rezisteco | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanikaj Parametroj | |||
| Diametro | 150.0±0.2mm | ||
| Dikeco | 350±25 μm | ||
| Primara plata orientiĝo | [1-100]±5° | ||
| Primara plata longo | 47.5±1.5mm | ||
| Malĉefa apartamento | Neniu | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Pafarko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Varpi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Fronto (Si-vizaĝo) krudeco (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Strukturo | |||
| Mikropipaj denseco | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalaj malpuraĵoj | ≤5E10atomoj/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Antaŭa Kvalito | |||
| Fronto | Si | ||
| Surfaca finaĵo | Si-vizaĝo CMP | ||
| Partikloj | ≤60ea/oblato (grandeco≥0.3μm) | NA | |
| Gratoj | ≤5ea/mm. Akumula longo ≤Diametro | Akumula longo ≤2 * Diametro | NA |
| Oranĝa ŝelo/fosaĵoj/makuloj/strioj/fendetoj/poluado | Neniu | NA | |
| Randaj blatoj/indentaĵoj/frakturo/heksplatoj | Neniu | ||
| Politipaj areoj | Neniu | Akumula areo≤20% | Akumula areo≤30% |
| Fronta lasera markado | Neniu | ||
| Reen Kvalito | |||
| Malantaŭa fino | C-vizaĝo CMP | ||
| Gratoj | ≤5ea/mm, Akumula longo≤2*Diametro | NA | |
| Malantaŭaj difektoj (randaj blatoj/indentaĵoj) | Neniu | ||
| Dorsa malglateco | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Malantaŭa lasera markado | 1 mm (de supra rando) | ||
| Rando | |||
| Rando | Chanfro | ||
| Pakado | |||
| Pakado | Epi-preta kun vakua pakado Multi-oblata kaseda pakado | ||
| *Notoj: "NA" signifas neniun peton. Eroj ne menciitaj povas rilati al SEMI-STD. | |||
