Semicera disponigas specialiĝintajn tantalkarbidajn (TaC) tegaĵojn por diversaj komponentoj kaj aviad-kompanioj.Semicera gvida tegprocezo ebligas tegaĵojn de tantalokarbido (TaC) atingi altan purecon, altan temperaturan stabilecon kaj altan kemian toleremon, plibonigante produktokvaliton de SIC/GAN-kristaloj kaj EPI-tavoloj (Grafito kovrita TaC-susceptoro), kaj plilongigante la vivon de esencaj reaktorkomponentoj. La uzo de tantala karbura tegaĵo TaC estas solvi la randan problemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kaj Semicera trarompis solvis la tantalan karburan tegteknologion (CVD), atingante la internacian altnivelan nivelon.
Kun la apero de 8-colaj siliciokarbidoj (SiC) oblatoj, la postuloj por diversaj semikonduktaĵprocezoj fariĝis ĉiam pli striktaj, precipe por epitaksioprocezoj kie temperaturoj povas superi 2000 celsiusgradojn. Tradiciaj susceptormaterialoj, kiel ekzemple grafito kovrita per siliciokarbido, tendencas sublimi ĉe tiuj altaj temperaturoj, interrompante la epitaksioprocezon. Tamen, CVD tantalokarbido (TaC) efike traktas ĉi tiun problemon, eltenante temperaturojn ĝis 2300 celsiusgradoj kaj ofertante pli longan funkcidaŭron. Kontaktu Semicera's CVD Tantala Karbido Tegita Supra Duonlunopor esplori pli pri niaj altnivelaj solvoj.
Post jaroj da evoluo, Semicera konkeris la teknologion deCVD TaCkun la komunaj klopodoj de la R&D-sekcio. Difektoj facile okazas en la kreskoprocezo de SiC-oblatoj, sed post uzadoTaC, la diferenco estas grava. Malsupre estas komparo de oblatoj kun kaj sen TaC, same kiel la partoj de Simicera por unukristala kresko.
kun kaj sen TaC
Post uzado de TaC (dekstre)
Cetere, tiu de SemiceraTaC-tegitaj produktojelmontras pli longan funkcidaŭron kaj pli grandan alt-temperaturan reziston kompare alTegaĵoj de SiC.Laboratoriaj mezuradoj pruvis, ke niaTaC tegaĵojpovas konstante rezulti ĉe temperaturoj ĝis 2300 celsiusgradoj dum plilongigitaj periodoj. Malsupre estas kelkaj ekzemploj de niaj specimenoj:
TaC tegita susceptor
Grafito kun TaC kovrita reaktoro
