Semicera enkondukas laOblato-Kasedoportilo, kritika solvo por la sekura kaj efika uzado de duonkonduktaĵo-oblatoj. Ĉi tiu portanto estas kreita por plenumi la striktajn postulojn de la duonkondukta industrio, certigante la protekton kaj integrecon de viaj oblatoj dum la produktada procezo.
Ĉefaj Trajtoj:
•Fortika Konstruo:LaOblato-Kasedoportiloestas konstruita el altkvalitaj, daŭraj materialoj, kiuj eltenas la rigorojn de duonkonduktaj medioj, provizante fidindan protekton kontraŭ poluado kaj fizika damaĝo.
•Preciza vicigo:Desegnita por preciza vicigo de oblatoj, ĉi tiu portanto certigas, ke oblatoj estas sekure tenitaj en loko, minimumigante la riskon de misparaleligo aŭ damaĝo dum transporto.
•Facila uzado:Ergonomie desegnita por facileco de uzado, la portanto simpligas la procezon de ŝarĝo kaj malŝarĝo, plibonigante laborfluan efikecon en purĉambraj medioj.
•Kongrueco:Kongrua kun larĝa gamo de oblataj grandecoj kaj tipoj, farante ĝin diverstalenta por diversaj bezonoj de fabrikado de semikonduktaĵoj.
Spertu senekzemplan protekton kaj oportunon kun SemiceraOblato-Kasedoportilo. Nia portanto estas desegnita por plenumi la plej altajn normojn de fabrikado de semikonduktaĵoj, certigante, ke viaj oblatoj restu en neprita kondiĉo de komenco ĝis fino. Fidu Semicera por liveri la kvaliton kaj fidindecon, kiujn vi bezonas por viaj plej kritikaj procezoj.
| Eroj | Produktado | Esploro | Dummy |
| Kristalaj Parametroj | |||
| Politipo | 4H | ||
| Eraro de surfaca orientiĝo | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektraj Parametroj | |||
| Dopanto | n-tipa Nitrogeno | ||
| Rezisteco | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanikaj Parametroj | |||
| Diametro | 150.0±0.2mm | ||
| Dikeco | 350±25 μm | ||
| Primara plata orientiĝo | [1-100]±5° | ||
| Primara plata longo | 47.5±1.5mm | ||
| Malĉefa apartamento | Neniu | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Pafarko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Varpi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Fronto (Si-vizaĝo) krudeco (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Strukturo | |||
| Mikropipaj denseco | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalaj malpuraĵoj | ≤5E10atomoj/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Antaŭa Kvalito | |||
| Fronto | Si | ||
| Surfaca finaĵo | Si-vizaĝo CMP | ||
| Partikloj | ≤60ea/oblato (grandeco≥0.3μm) | NA | |
| Gratoj | ≤5ea/mm. Akumula longo ≤Diametro | Akumula longo ≤2 * Diametro | NA |
| Oranĝa ŝelo/fosaĵoj/makuloj/strioj/fendetoj/poluado | Neniu | NA | |
| Randaj blatoj/indentaĵoj/frakturo/heksplatoj | Neniu | ||
| Politipaj areoj | Neniu | Akumula areo≤20% | Akumula areo≤30% |
| Fronta lasera markado | Neniu | ||
| Reen Kvalito | |||
| Malantaŭa fino | C-vizaĝo CMP | ||
| Gratoj | ≤5ea/mm, Akumula longo≤2*Diametro | NA | |
| Malantaŭaj difektoj (randaj blatoj/indentaĵoj) | Neniu | ||
| Dorsa malglateco | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Malantaŭa lasera markado | 1 mm (de supra rando) | ||
| Rando | |||
| Rando | Chanfro | ||
| Pakado | |||
| Pakado | Epi-preta kun vakua pakado Multi-oblata kaseda pakado | ||
| *Notoj: "NA" signifas neniun peton. Eroj ne menciitaj povas rilati al SEMI-STD. | |||
