La SOI-Oblato (Silicon On Insulator) de Semicera estas desegnita por liveri superan elektran izolitecon kaj termikan rendimenton. Ĉi tiu pionira oblata strukturo, havanta silician tavolon sur izola tavolo, certigas plibonigitan agadon de aparato kaj reduktitan energikonsumon, igante ĝin ideala por diversaj altteknologiaj aplikoj.
Niaj SOI-oblatoj ofertas esceptajn avantaĝojn por integraj cirkvitoj per minimumigo de parazita kapacitanco kaj plibonigo de la rapideco kaj efikeco de la aparato. Ĉi tio estas decida por moderna elektroniko, kie alta rendimento kaj energiefikeco estas esencaj por kaj konsumantaj kaj industriaj aplikoj.
Semicera utiligas altnivelajn produktadteknikojn por produkti SOI-oblatojn kun konsekvenca kvalito kaj fidindeco. Ĉi tiuj oblatoj disponigas bonegan termoizoladon, igante ilin taŭgaj por uzo en medioj kie varmodissipado estas maltrankvilo, kiel ekzemple en alt-densecaj elektronikaj aparatoj kaj potencaj administradsistemoj.
La uzo de SOI-oblatoj en semikonduktaĵfabrikado enkalkulas la evoluon de pli malgrandaj, pli rapidaj, kaj pli fidindaj fritoj. La engaĝiĝo de Semicera al precizeca inĝenierado certigas, ke niaj SOI-oblatoj plenumas la altajn normojn postulatajn por avangardaj teknologioj en kampoj kiel telekomunikado, aŭtomobila kaj konsumelektroniko.
Elekti la SOI-Oblaton de Semicera signifas investi en produkto kiu subtenas la progreson de elektronikaj kaj mikroelektronikaj teknologioj. Niaj oblatoj estas dizajnitaj por provizi plibonigitan rendimenton kaj fortikecon, kontribuante al la sukceso de viaj altteknologiaj projektoj kaj certigante, ke vi restu ĉe la avangardo de novigado.
| Eroj | Produktado | Esploro | Dummy |
| Kristalaj Parametroj | |||
| Politipo | 4H | ||
| Eraro de surfaca orientiĝo | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektraj Parametroj | |||
| Dopanto | n-tipa Nitrogeno | ||
| Rezisteco | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanikaj Parametroj | |||
| Diametro | 150.0±0.2mm | ||
| Dikeco | 350±25 μm | ||
| Primara plata orientiĝo | [1-100]±5° | ||
| Primara plata longo | 47.5±1.5mm | ||
| Malĉefa apartamento | Neniu | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Pafarko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Varpi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Fronto (Si-vizaĝo) krudeco (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Strukturo | |||
| Mikropipaj denseco | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalaj malpuraĵoj | ≤5E10atomoj/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Antaŭa Kvalito | |||
| Fronto | Si | ||
| Surfaca finaĵo | Si-vizaĝo CMP | ||
| Partikloj | ≤60ea/oblato (grandeco≥0.3μm) | NA | |
| Gratoj | ≤5ea/mm. Akumula longo ≤Diametro | Akumula longo ≤2 * Diametro | NA |
| Oranĝa ŝelo/fosaĵoj/makuloj/strioj/fendetoj/poluado | Neniu | NA | |
| Randaj blatoj/indentaĵoj/frakturo/heksplatoj | Neniu | ||
| Politipaj areoj | Neniu | Akumula areo≤20% | Akumula areo≤30% |
| Fronta lasera markado | Neniu | ||
| Reen Kvalito | |||
| Malantaŭa fino | C-vizaĝo CMP | ||
| Gratoj | ≤5ea/mm, Akumula longo≤2*Diametro | NA | |
| Malantaŭaj difektoj (randaj blatoj/indentaĵoj) | Neniu | ||
| Dorsa malglateco | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Malantaŭa lasera markado | 1 mm (de supra rando) | ||
| Rando | |||
| Rando | Chanfro | ||
| Pakado | |||
| Pakado | Epi-preta kun vakua pakado Multi-oblata kaseda pakado | ||
| *Notoj: "NA" signifas neniun peton. Eroj ne menciitaj povas rilati al SEMI-STD. | |||
