Semicera Silicon Substrates estas kreitaj por plenumi la rigorajn postulojn de la duonkondukta industrio, ofertante senekzemplan kvaliton kaj precizecon. Ĉi tiuj substratoj provizas fidindan fundamenton por diversaj aplikoj, de integraj cirkvitoj ĝis fotovoltaikaj ĉeloj, certigante optimuman rendimenton kaj longvivecon.
La alta pureco de Semicera Silicon Substrates certigas minimumajn difektojn kaj superajn elektrajn karakterizaĵojn, kiuj estas kritikaj por la produktado de alt-efikecaj elektronikaj komponantoj. Ĉi tiu nivelo de pureco helpas malpliigi energian perdon kaj plibonigi la ĝeneralan efikecon de duonkonduktaĵoj.
Semicera utiligas pintnivelajn produktadteknikojn por produkti siliciajn substratojn kun escepta unuformeco kaj plateco. Ĉi tiu precizeco estas esenca por atingi konsekvencajn rezultojn en la fabrikado de semikonduktaĵoj, kie eĉ la plej eta variado povas influi la efikecon kaj rendimenton de la aparato.
Disponeblaj en diversaj grandecoj kaj specifoj, Semicera Silicon Substrates respondas al larĝa gamo de industriaj bezonoj. Ĉu vi disvolvas avangardajn mikroprocesorojn aŭ sunpanelojn, ĉi tiuj substratoj provizas la flekseblecon kaj fidindecon necesajn por via specifa apliko.
Semicera estas dediĉita al subteno de novigado kaj efikeco en la duonkondukta industrio. Provizante altkvalitajn siliciajn substratojn, ni ebligas fabrikistojn antaŭenpuŝi la limojn de teknologio, liverante produktojn, kiuj plenumas la evoluantajn postulojn de la merkato. Fidu Semicera por viaj venontgeneraciaj elektronikaj kaj fotovoltaikaj solvoj.
| Eroj | Produktado | Esploro | Dummy |
| Kristalaj Parametroj | |||
| Politipo | 4H | ||
| Eraro de surfaca orientiĝo | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektraj Parametroj | |||
| Dopanto | n-tipa Nitrogeno | ||
| Rezisteco | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanikaj Parametroj | |||
| Diametro | 150.0±0.2mm | ||
| Dikeco | 350±25 μm | ||
| Primara plata orientiĝo | [1-100]±5° | ||
| Primara plata longo | 47.5±1.5mm | ||
| Malĉefa apartamento | Neniu | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Pafarko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Varpi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Fronto (Si-vizaĝo) krudeco (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Strukturo | |||
| Mikropipaj denseco | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalaj malpuraĵoj | ≤5E10atomoj/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Antaŭa Kvalito | |||
| Fronto | Si | ||
| Surfaca finaĵo | Si-vizaĝo CMP | ||
| Partikloj | ≤60ea/oblato (grandeco≥0.3μm) | NA | |
| Gratoj | ≤5ea/mm. Akumula longo ≤Diametro | Akumula longo ≤2 * Diametro | NA |
| Oranĝa ŝelo/fosaĵoj/makuloj/strioj/fendetoj/poluado | Neniu | NA | |
| Randaj blatoj/indentaĵoj/frakturo/heksplatoj | Neniu | ||
| Politipaj areoj | Neniu | Akumula areo≤20% | Akumula areo≤30% |
| Fronta lasera markado | Neniu | ||
| Reen Kvalito | |||
| Malantaŭa fino | C-vizaĝo CMP | ||
| Gratoj | ≤5ea/mm, Akumula longo≤2*Diametro | NA | |
| Malantaŭaj difektoj (randaj blatoj/indentaĵoj) | Neniu | ||
| Dorsa malglateco | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Malantaŭa lasera markado | 1 mm (de supra rando) | ||
| Rando | |||
| Rando | Chanfro | ||
| Pakado | |||
| Pakado | Epi-preta kun vakua pakado Multi-oblata kaseda pakado | ||
| *Notoj: "NA" signifas neniun peton. Eroj ne menciitaj povas rilati al SEMI-STD. | |||
