Enkonduko de oblaportilo
KATEGORIO DE PRODUCTO
▶Wafer Carrier System por PECVD & TALOX-Procezo
• PECVD & TALOX Grafita Boato (M4~M12)
• Vertikala SM-Boato (M4, M6)
• Enplanta kaj duŝa Grafita Parto (M4~M6)
• C/C Pleto & Ceramika Tegaĵo
• Metalo RIE-Pleto & Ceramika Tegaĵo
• Malplena Sigelo: O-Ringo & SQ-Ringo
▶Texturing & Malseka Akvaforta Transiga Procezo
• LSC H-Portilo aŭ kasedo (M4~M12)
• LSC V-Portilo aŭ kasedo (M4~M12)
• ASC-Portilo aŭ kasedo (M4, M6)
• W/F Kondukula & Stoka Skatolo (M4~M12)
• Transport Wheel (Rulilo) Serio
▶Suna Ĉela Kondukisto & Metala Kondukisto
• TRC-Portilo aŭ kasedo (M4~M12)
• Revuo (kun ZONO)
GRAFITA BOATO (H-Tipo)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITA BOATO (H-Tipo)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITA BOATO (H-Tipo)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFITA BOATO (H-Tipo)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITA BOATO (H-Tipo)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF PORTILO & STOKAJ KESTO (~M12)
C/C PLATO aŭ PORTADO (M4~M10)
C/C PLATO aŭ PORTADO (M4~M10)
VERTICALA BOATO (SM) M6
LSC-H-PORTANTO(~M12)
LSC-V-PORTANTO(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAFITO-BOATO (M12)
Wafer Carrier System por PECVD-Procezo
▶ GRAFITA BOATO (CT-Desegnita) M10/M12 Procezo
• SPECIALA DESEGNA KONCEPTO
▶ GRAFITA BOATO (CT-Desegnita) M4/M6 Procezo
▶ BOAT Akcesoraĵoj
▶ VERTICALA BOATO-161.7mm OBLATO
▶ VERTICALA BOATO-166mm OBLATO
▶ VERTICALA BOATO-161.7mm, 166mm OBLATO
Suna Ĉela Kondukisto & Metala TRC Kondukisto
TIPO: Aŭtomatigo
OBLATOGRECO: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
UZO: Porti (Kasedo)
KAPACIO: 100 folioj
PASO: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
DIMENSIONO: Proksimume 559 × 220 × 220MM
Proksimume 712×260×260MM
AVANTAĜO : Atmosfero
MATERIALO: FLAMO, FLANKA TRINKEJO-Aluminio (anodiza)
FLANKA PLATO-POM (Antikstatika)
Kovro de malsupra trinkejo-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALA TRANSPORTO (UZANTLINIO)
TRC-METALA TRANSPORTO (UZANTLINIO)
TRC-METALA TRANSPORTO (UZANTLINIO)
DUXA PLADO & IMPLANTO, PORTILO
