Ekdefandujoestas uzata kiel ujo kaj estas konvekcio interne, ĉar la grandeco de generita ununura kristalo pliiĝas, varmokonvekcio kaj temperaturgradienta unuformeco fariĝas pli malfacilaj por kontroli. Aldonante magnetan kampon por igi la konduktan fandadon agi sur Lorentz-forto, konvekcio povas esti malrapidigita aŭ eĉ eliminita por produkti altkvalitan unukristalan silicion.
Laŭ la speco de magneta kampo, ĝi povas esti dividita en horizontala kampo, vertikala kampo kaj CUSP magneta kampo:
Vertikala kampo ne povas forigi la ĉefan konvekcion pro strukturaj kialoj kaj malofte estas uzata.
La direkto de la magneta kampo komponanto de la horizontala magneta kampo estas perpendikulara al la ĉefa varmega konvekcio kaj parta malvola konvekcio de la krisolmuro, kio povas efike malhelpi movadon, konservi la platecon de la kreska interfaco kaj redukti kreskstriojn.
CUSP-magneta kampo havas pli unuforman fluon kaj varmotransigon de fandado pro sia simetrio, do la esplorado pri vertikalaj kaj CUSP-magnetaj kampoj iris man en mano.
En Ĉinio, Xi'an-a Teknologia Universitato pli frue realigis la produktadon kaj kristaltiran eksperimentojn de siliciaj unukristaloj uzante magnetajn kampojn. Ĝiaj ĉefaj produktoj estas popularaj tipoj de 6-8 in, kiuj celas la merkaton de siliciaj oblatoj por sunaj fotovoltaikaj ĉeloj. En eksterlandoj, kiel KAYEX en Usono kaj CGS en Germanio, iliaj ĉefaj produktoj estas 8-16in, kiuj taŭgas por unukristalaj siliciaj bastonoj je la nivelo de ultragrandskalaj integraj cirkvitoj kaj duonkonduktaĵoj. Ili havas monopolon en la kampo de magnetaj kampoj por la kresko de grand-diametraj altkvalitaj unukristaloj kaj estas la plej reprezentaj.
La magneta kampo distribuo en la fandujo areo de la unukristala kreskosistemo estas la plej kritika parto de la magneto, inkluzive de la forto kaj unuformeco de la magneta kampo ĉe la rando de la fandujo, la centro de la fandujo, kaj la taŭga. distanco sub la likva surfaco. La totala horizontala kaj unuforma transversa magneta kampo, la magnetaj fortolinioj estas perpendikularaj al la kristala kresko-akso. Laŭ la magneta efiko kaj la leĝo de Ampere, la bobeno estas plej proksima al la rando de la fandujo kaj la kampa forto estas la plej granda. Dum la distanco pliiĝas, la aermagneta rezisto pliiĝas, la kampa forto iom post iom malpliiĝas, kaj ĝi estas la plej malgranda en la centro.
La rolo de superkondukta magneta kampo
Malhelpante termikan konvekcion: En foresto de ekstera magneta kampo, fandita silicio produktos naturan konvekcion dum hejtado, kio povas konduki al neegala distribuado de malpuraĵoj kaj formado de kristalaj difektoj. La ekstera magneta kampo povas subpremi ĉi tiun konvekcion, igante la temperaturdistribuon ene de la fandado pli unuforma kaj reduktante la malebenan distribuadon de malpuraĵoj.
Kontroli la kristalan kreskon: La magneta kampo povas influi la rapidecon kaj direkton de kristala kresko. Precize kontrolante la forton kaj distribuadon de la magneta kampo, la kristala kresko procezo povas esti optimumigita kaj la integreco kaj unuformeco de la kristalo povas esti plibonigitaj. Dum la kresko de unukristala silicio, oksigeno eniras la silician fandadon ĉefe tra la relativa movado de la fandado kaj la fandujo. La kampo reduktas la eblecon de oksigeno kontaktanta la silician fandadon reduktante la konvekcion de la fandado, tiel reduktante la dissolvon de oksigeno. En iuj kazoj, la ekstera magneta kampo povas ŝanĝi la termodinamikajn kondiĉojn de la fandado, kiel per ŝanĝado de la surfaca tensio de la fandado, kio povas helpi la volatiligon de oksigeno, tiel reduktante la oksigenenhavon en la fandado.
Redukti la dissolvon de oksigeno kaj aliaj malpuraĵoj: Oksigeno estas unu el la oftaj malpuraĵoj en la kresko de siliciaj kristaloj, kio kaŭzos la kvaliton de la kristalo malboniĝi. La magneta kampo povas redukti la oksigenan enhavon en la fandado, tiel reduktante la dissolvon de oksigeno en la kristalo kaj plibonigante la purecon de la kristalo.
Plibonigu la internan strukturon de la kristalo: La magneta kampo povas influi la difektan strukturon ene de la kristalo, kiel dislokiĝoj kaj grenlimoj. Reduktante la nombron da ĉi tiuj difektoj kaj influante ilian distribuon, la ĝenerala kvalito de la kristalo povas esti plibonigita.
Plibonigi la elektrajn trajtojn de kristaloj: Ĉar magnetaj kampoj havas signifan efikon al la mikrostrukturo dum kristala kresko, ili povas plibonigi la elektrajn trajtojn de kristaloj, kiel ekzemple resistiveco kaj portanta vivdaŭro, kiuj estas decidaj por fabrikado de alt-efikecaj duonkonduktaĵoj.
Bonvenigu iujn ajn klientojn el la tuta mondo por viziti nin por plia diskuto!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Afiŝtempo: Jul-24-2024