Epitaksia kresko estas teknologio kiu kreskigas ununuran kristalan tavolon sur ununura kristala substrato (substrato) kun la sama kristala orientiĝo kiel la substrato, kvazaŭ la origina kristalo etendiĝis eksteren.Ĉi tiu lastatempe kreskinta unukristala tavolo povas diferenci de la substrato laŭ konduktiveca tipo, resistiveco, ktp., kaj povas kreskigi plurtavolajn ununurajn kristalojn kun malsamaj dikaĵoj kaj malsamaj postuloj, tiel multe plibonigante la flekseblecon de aparato-dezajno kaj aparata agado.Krome, la epitaxial procezo ankaŭ estas vaste uzata en PN-kruciĝo izolita teknologio en integraj cirkvitoj kaj en plibonigado de materiala kvalito en grandskalaj integraj cirkvitoj.
La klasifiko de epitaksio estas plejparte bazita sur la malsamaj kemiaj kunmetaĵoj de la substrato kaj epitaksia tavolo kaj la malsamaj kreskmetodoj.
Laŭ malsamaj kemiaj kunmetaĵoj, epitaksia kresko povas esti dividita en du tipojn:
1. Homoepitaxial: En ĉi tiu kazo, la epitaxial tavolo havas la saman kemian komponadon kiel la substrato.Ekzemple, siliciaj epitaksaj tavoloj estas kultivitaj rekte sur siliciaj substratoj.
2. Heteroepitaksio: Ĉi tie, la kemia konsisto de la epitaksia tavolo estas malsama ol tiu de la substrato.Ekzemple, galiumnitruda epitaksa tavolo estas kreskigita sur safira substrato.
Laŭ malsamaj kreskmetodoj, epitaksa kreskteknologio ankaŭ povas esti dividita en diversajn specojn:
1. Molekula fasko epitaksio (MBE): Ĉi tio estas teknologio por kreskigi unukristalajn maldikaj filmoj sur unukristalaj substratoj, kiu estas atingita per precize kontrolado de la molekula fasko fluo kaj fasko denseco en ultra-alta vakuo.
2. Metal-organika kemia vapora deponado (MOCVD): Ĉi tiu teknologio uzas metal-organikajn komponaĵojn kaj gas-fazajn reakciulojn por plenumi kemiajn reagojn ĉe altaj temperaturoj por generi la postulatajn maldikajn materialojn.Ĝi havas larĝajn aplikojn en la preparado de kunmetitaj semikonduktaĵoj kaj aparatoj.
3. Likva faza epitaksio (LPE): Aldonante likvan materialon al ununura kristala substrato kaj farante varman traktadon ĉe certa temperaturo, la likva materialo kristaliĝas por formi ununuran kristalan filmon.La filmoj preparitaj per tiu teknologio estas krado-matigitaj al la substrato kaj ofte kutimas prepari kunmetitajn semikonduktaĵmaterialojn kaj aparatojn.
4. Vaporfaza epitaksio (VPE): Utiligas gasajn reaktivajn por plenumi kemiajn reagojn ĉe altaj temperaturoj por generi la postulatajn maldikajn materialojn.Ĉi tiu teknologio taŭgas por prepari grandajn areajn, altkvalitajn unukristalajn filmojn, kaj estas precipe elstara en la preparado de kunmetitaj duonkonduktaĵoj kaj aparatoj.
5. Kemia radio-epitaksio (CBE): Ĉi tiu teknologio uzas kemiajn trabojn por kreskigi unukristalajn filmojn sur unukristalaj substratoj, kio estas atingita per precize kontrolado de la kemia trabo-fluo kaj trabo-denseco.Ĝi havas larĝajn aplikojn en la preparado de altkvalitaj unukristalaj maldikaj filmoj.
6. Atomtavola epitaksio (ALE): Uzante atomtavolan deponteknologion, la postulataj maldikaj filmmaterialoj estas deponitaj tavolo post tavolo sur ununura kristala substrato.Ĉi tiu teknologio povas prepari grandajn areajn, altkvalitajn unukristalajn filmojn kaj ofte estas uzata por prepari kunmetitajn duonkonduktajn materialojn kaj aparatojn.
7. Varma murepitaksio (HWE): Per alt-temperatura hejtado, gasaj reakciantoj estas deponitaj sur ununura kristala substrato por formi ununuran kristalan filmon.Ĉi tiu teknologio ankaŭ taŭgas por prepari grandajn areajn, altkvalitajn unukristalajn filmojn, kaj estas precipe uzata en la preparado de kunmetitaj duonkonduktaĵoj kaj aparatoj.
Afiŝtempo: majo-06-2024