Kiel ni produktas-pretigajn paŝojn por SiC-substratoj estas jenaj:
1. Kristala Orientiĝo: Uzante X-radian difrakton por orienti la kristalan ingoton.Kiam Rentgenfota trabo estas direktita al la dezirata kristala vizaĝo, la angulo de la difrakta fasko determinas la kristalan orientiĝon.
2. Ekstera Diametro Muelanta: Unuopaj kristaloj kreskigitaj en grafitaj krisoloj ofte superas normajn diametrojn.Ekstera diametra muelado reduktas ilin al normaj grandecoj.
End Face Grinding: 4-colaj 4H-SiC-substratoj kutime havas du pozicigajn randojn, primarajn kaj malĉefajn.Fina vizaĝo muelanta malfermas ĉi tiujn poziciajn randojn.
3. Drato Segado: Drato segado estas decida paŝo en prilaborado de 4H-SiC-substratoj.Fendetoj kaj subsurfacaj damaĝoj kaŭzitaj dum dratsegado negative influas postajn procezojn, plilongigante pretigtempon kaj kaŭzante materialan perdon.La plej ofta metodo estas multi-drata segado kun diamanta abrasivo.Reciproka moviĝo de metaldratoj kunligitaj kun diamantaj abrasivoj kutimas tranĉi la 4H-SiC ingoton.
4. Chamfering: Por malhelpi randan pecetadon kaj redukti konsumeblajn perdojn dum postaj procezoj, la akraj randoj de la drataj segitaj blatoj estas chamfered al specifitaj formoj.
5. Maldensiĝo: Segado de drato lasas multajn grataĵojn kaj subsurfacajn damaĝojn.Maldikiĝo estas farita uzante diamantajn radojn por forigi ĉi tiujn difektojn kiel eble plej multe.
6. Muelanta: Ĉi tiu procezo inkluzivas malglatan muelon kaj fajnan muelon uzante pli malgrandajn boro-karbidon aŭ diamantajn abrazivojn por forigi restajn damaĝojn kaj novajn damaĝojn enkondukitajn dum maldensiĝo.
7. Polurado: La finaj paŝoj implikas malglatan poluradon kaj fajnan poluradon per alumina aŭ silicio-oksida abrasivo.La polura likvaĵo moligas la surfacon, kiu tiam estas meĥanike forigita per abrasivoj.Ĉi tiu paŝo certigas glatan kaj nedifektitan surfacon.
8. Purigado: Forigo de partikloj, metaloj, oksidaj filmoj, organikaj restaĵoj kaj aliaj poluaĵoj lasitaj de la prilaboraj paŝoj.
Afiŝtempo: majo-15-2024