Kiel ni produktas-pretigajn paŝojn por SiC-substratoj estas jenaj:
1. Kristala Orientiĝo:
Uzante Rentgenfotan difrakton por orienti la kristalan ingoton. Kiam Rentgenfota trabo estas direktita al la dezirata kristala vizaĝo, la angulo de la difrakta fasko determinas la kristalan orientiĝon.
2. Ekstera Diametro Muelanta:
Unuopaj kristaloj kultivitaj en grafitaj krisoloj ofte superas normajn diametrojn. Ekstera diametra muelado reduktas ilin al normaj grandecoj.
3.Finu Vizaĝan Mueladon:
4-colaj 4H-SiC-substratoj tipe havas du poziciajn randojn, primarajn kaj malĉefajn. Fina vizaĝo muelanta malfermas ĉi tiujn poziciajn randojn.
4. Drato Segado:
Dratsegado estas decida paŝo en prilaborado de 4H-SiC-substratoj. Fendetoj kaj subsurfacaj damaĝoj kaŭzitaj dum dratsegado negative influas postajn procezojn, plilongigante pretigtempon kaj kaŭzante materialan perdon. La plej ofta metodo estas multi-drata segado kun diamanta abrasivo. Reciproka moviĝo de metaldratoj ligitaj kun diamantaj abrazivoj kutimas tranĉi la 4H-SiC ingoton.
5. Chanfrenado:
Por malhelpi randan pecetiĝon kaj redukti konsumeblajn perdojn dum postaj procezoj, la akraj randoj de la drat-segitaj blatoj estas ĉambritaj al precizigitaj formoj.
6. Maldikiĝo:
Dratsegado lasas multajn grataĵojn kaj subsurfacajn damaĝojn. Maldikiĝo estas farita uzante diamantajn radojn por forigi ĉi tiujn difektojn kiel eble plej multe.
7. Muelado:
Ĉi tiu procezo inkluzivas malglatan mueladon kaj fajnan mueladon uzante pli etgrandajn boro-karbidojn aŭ diamantajn abrazivojn por forigi restajn damaĝojn kaj novajn damaĝojn enkondukitajn dum maldensiĝo.
8. Polurado:
La finaj paŝoj implikas malglatan poluradon kaj fajnan poluron uzante aluminon aŭ silicioksidajn abrazivojn. La polura likvaĵo moligas la surfacon, kiu tiam estas meĥanike forigita per abrasivoj. Ĉi tiu paŝo certigas glatan kaj nedifektitan surfacon.
9. Purigado:
Forigo de partikloj, metaloj, oksidaj filmoj, organikaj restaĵoj kaj aliaj poluaĵoj forlasitaj de la pretigaj paŝoj.
Afiŝtempo: majo-15-2024