Kiel ni produktas-pretigajn paŝojn por SiC-substratoj estas jenaj:
1. Kristala Orientiĝo: Uzante X-radian difrakton por orienti la kristalan ingoton. Kiam Rentgenfota fasko estas direktita al la dezirata kristala vizaĝo, la angulo de la difrakta fasko determinas la kristalan orientiĝon.
2. Ekstera Diametro Muelanta: Unuopaj kristaloj kreskigitaj en grafitaj krisoloj ofte superas normajn diametrojn. Ekstera diametra muelado reduktas ilin al normaj grandecoj.
3.End Face Grinding: 4-colaj 4H-SiC-substratoj kutime havas du poziciajn randojn, primarajn kaj malĉefajn. Fina vizaĝo muelanta malfermas ĉi tiujn poziciajn randojn.
4. Drato Segado: Drato segado estas decida paŝo en prilaborado de 4H-SiC-substratoj. Fendetoj kaj subsurfacaj damaĝoj kaŭzitaj dum dratsegado negative influas postajn procezojn, plilongigante pretigtempon kaj kaŭzante materialan perdon. La plej ofta metodo estas multi-drata segado kun diamanta abrasivo. Reciproka moviĝo de metaldratoj kunligitaj kun diamantaj abrasivoj kutimas tranĉi la 4H-SiC ingoton.
5. Chamfering: Por malhelpi randan pecetiĝon kaj redukti konsumeblajn perdojn dum postaj procezoj, la akraj randoj de la drataj segitaj blatoj estas chamfered al specifitaj formoj.
6. Maldensiĝo: Segado de drato lasas multajn grataĵojn kaj subsurfacajn damaĝojn. Maldikiĝo estas farita uzante diamantajn radojn por forigi ĉi tiujn difektojn kiel eble plej multe.
7. Muelanta: Ĉi tiu procezo inkluzivas malglatan muelon kaj fajnan muelon uzante malpligrandajn boro-karbidojn aŭ diamantajn abrazivojn por forigi restajn damaĝojn kaj novajn damaĝojn enkondukitajn dum maldikiĝo.
8. Polurado: La finaj paŝoj implikas malglatan poluradon kaj fajnan poluradon per alumina aŭ silicio-oksida abrasivo. La polura likvaĵo moligas la surfacon, kiu tiam estas meĥanike forigita per abrasivoj. Ĉi tiu paŝo certigas glatan kaj nedifektitan surfacon.
9. Purigado: Forigo de partikloj, metaloj, oksidaj filmoj, organikaj restaĵoj kaj aliaj poluaĵoj lasitaj de la prilaboraj paŝoj.
Afiŝtempo: majo-15-2024