Maldikaj filmoj uzataj en fabrikado de semikonduktaĵoj ĉiuj havas reziston, kaj filmrezisto havas rektan efikon al la agado de la aparato. Ni kutime ne mezuras la absolutan reziston de la filmo, sed uzas la folireziston por karakterizi ĝin.
Kio estas la rezisto kaj la volumrezistiveco?
Volumenrezistiveco, ankaŭ konata kiel volumenrezistiveco, estas eneca posedaĵo de materialo kiu karakterizas kiom multe la materialo malhelpas la fluon de elektra kurento. Ofte uzata simbolo ρ reprezentas, la unuo estas Ω.
Sheet rezisto, ankaŭ konata kiel sheet rezisto, la angla nomo estas sheet resistance, kiu rilatas al la rezistvaloro de la filmo per unuo-areo. Ofte uzataj simboloj Rs aŭ ρs por esprimi, la unuo estas Ω/kv aŭ Ω/□
La rilato inter la du estas: foliorezisto = volumenorezistiveco/filma dikeco, tio estas, Rs =ρ/t
Kial mezuri la reziston?
Mezuri la absolutan reziston de filmo postulas precizan scion pri la geometriaj grandecoj de la filmo (longo, larĝo, dikeco), kiu havas multajn variablojn kaj estas tre kompleksa por tre maldikaj aŭ nereguleformaj filmoj. La folia rezisto nur rilatas al la dikeco de la filmo kaj povas esti rapide kaj rekte provita sen komplikaj grandeco-kalkuloj.
Kiuj filmoj bezonas mezuri la reziston?
Ĝenerale, konduktaj filmoj kaj duonkonduktaĵoj devas esti mezuritaj por kvadrata rezisto, dum izolaj filmoj ne bezonas esti mezuritaj.
En semikonduktaĵa dopado, la tuka rezisto de silicio ankaŭ estas mezurita.
Kiel mezuri kvadratan reziston?
La kvar-sonda metodo estas ĝenerale uzata en la industrio. La kvar-sonda metodo povas mezuri kvadratan reziston intervalantan de 1E-3 ĝis 1E+9Ω/kv. La kvar-sonda metodo povas eviti mezurajn erarojn pro kontaktorezisto inter la sondilo kaj la specimeno.
Mezurmetodoj:
1) Metu kvar linie aranĝitajn sondilojn sur la surfacon de la specimeno.
2) Apliki konstantan kurenton inter la du eksteraj sondiloj.
3) Determinu la reziston mezurante la potencialan diferencon inter la du internaj sondiloj
RS: folia rezisto
ΔV: Ŝanĝo en tensio mezurita inter internaj sondiloj
I : Kurento aplikita inter eksteraj sondiloj
Afiŝtempo: Mar-29-2024