Izostatika PECVD Grafita Boato

Mallonga Priskribo:

Izostatika PECVD-grafita boato estas vaste uzata en diversaj ligoj de semikonduktaĵo-fabrikado, kiel polisilicia filmo-demetado, oksida filmo-demetado, nitruda filmo-demetado, ktp. Ĝia bonega agado igas ĝin ideala oblaportisto en la PECVD-procezo.

Sendu retpoŝton al ni

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

SEMICERA izostatika PECVD-grafita boato estas alt-pura, alt-denseca grafita produkto desegnita por obla-subteno en la procezo de PECVD (plasmo-plifortigita kemia vapordemetado). SEMICERA uzas altnivelan izostatan premantan teknologion por certigi, ke la grafita boato havas bonegan alttemperaturan reziston, korodan reziston, dimensia stabilecon kaj bonan termikan konduktivecon, kiu estas nemalhavebla konsumebla en la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj.

SEMICERA izostatika PECVD-grafitboato havas la sekvajn avantaĝojn:

▪ Alta pureco: La grafita materialo estas de alta pureco kaj malalta malpura enhavo por eviti poluadon de la obla surfaco.

▪ Alta denseco: Alta denseco, alta mekanika forto, povas elteni altan temperaturon kaj altan malplenan medion.

▪ Bona dimensia stabileco: Malgranda dimensia ŝanĝo ĉe alta temperaturo por certigi procezan stabilecon.

▪ Bonega termika kondukteco: Efike translokigi varmegon por malhelpi oblatan supervarmiĝon.

▪ Forta koroda rezisto: Kapabla rezisti erozion de diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.

Elfara parametro	semicera	SGL R6510	Elfara parametro
Granda denseco (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Fleksa forto (MPa)	63	60	49
Kunprema forto (MPa)	135	130	103
Marborda Malmoleco (HS)	70	64	60
Koeficiento de termika ekspansio（10-6/K）	85	105	130
Koeficiento de termika ekspansio（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Rezistemo (μΩm)	11-13	13	10

Avantaĝoj de elekti nin:
▪ Materiala elekto: Altpuraj grafitaj materialoj estas uzataj por certigi produktan kvaliton.
▪ Pretiga teknologio: Izostatika premado estas uzata por certigi produktan densecon kaj unuformecon.
▪ Grandeca personigo: Grafitaj boatoj de malsamaj grandecoj kaj formoj povas esti personecigitaj laŭ klientaj bezonoj.
▪ Surfaca traktado: diversaj surfacaj traktaj metodoj estas provizitaj, kiel tegaĵo de silicio-karbido, boro-nitruro, ktp., por plenumi malsamajn procezpostulojn.