Alta pureca SiC Carrier/Susceptor

Mallonga Priskribo:

Silicia karbura portanta disko ankaŭ estas konata kiel SIC-pleto, silicia karbura akvaforta disko, ICP-akvaforta disko. Silicia karbura pleto por LED-akvaforto (SiC-pleto) φ600mm estas speciala akcesoraĵo por profunda silicia akvaforto (ICP-akvaforta maŝino).


Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Priskribo

Silicikarbura ceramikaĵo havas bonegajn mekanikajn trajtojn ĉe ĉambra temperaturo, kiel alta forto, alta malmoleco, alta elasta modulo, ktp., ĝi ankaŭ havas bonegan alt-temperaturan stabilecon kiel alta varmokondukteco, malalta termika ekspansio-koeficiento kaj bona specifa rigideco kaj optika. prilaborado de rendimento.
Ili estas precipe taŭgaj por produkti precizecajn ceramikojn por integracirkvitaj ekipaĵoj kiel litografiomaŝinoj, ĉefe uzataj por fabriki la SiC portanton/susceptorilon, SiC-oblan boaton, suĉan diskon, akvo-malvarmigan platon, precizecan mezuran reflektilon, kradon kaj aliajn ceramikajn strukturajn partojn.

portanto2

portanto3

portanto4

Avantaĝoj

Rezisto al alta temperaturo: normala uzo ĉe 1800 ℃
Alta varmokondukteco: ekvivalenta al grafita materialo
Alta malmoleco: malmoleco dua nur al diamanto, boronitruro
Koroda rezisto: forta acido kaj alkalo havas neniun korodon al ĝi, la koroda rezisto estas pli bona ol volframkarbido kaj alumino.
Malpeza pezo: malalta denseco, proksima al aluminio
Neniu deformado: malalta koeficiento de termika ekspansio
Rezisto al termika ŝoko: ĝi povas elteni akrajn temperaturŝanĝojn, rezisti al termika ŝoko kaj havas stabilan agadon
Silicia karburo portanto kiel sic akvaforta portanto, ICP akvaforta susceptor, estas vaste uzataj en duonkonduktaĵo CVD, malplena sputtering ktp. Ni povas provizi klientojn kun personecigitaj oblaj portantoj de silicio kaj silicio-karburaj materialoj por renkonti malsamajn aplikojn.

Avantaĝoj

Proprieto Valoro Metodo
Denso 3,21 g/cc Sink-flosilo kaj dimensio
Specifa varmo 0,66 J/g °K Pulsita lasera ekbrilo
Fleksa forto 450 MPa560 MPa 4-punkta kurbiĝo, RT4-punkta kurbiĝo, 1300°
Fraktura fortikeco 2,94 MPa m1/2 Microindentado
Malmoleco 2800 Vicker's, ŝarĝo de 500 g
Elasta ModuloModulo de Young 450 GPa430 GPa 4 pt kurbiĝo, RT4 pt kurbiĝo, 1300 °C
Grajna grandeco 2-10 µm SEM

Kompanio Profilo

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. estas ĉefa provizanto de altnivelaj semikonduktaĵaj ceramikaĵoj kaj la nura fabrikisto en Ĉinio, kiu povas samtempe provizi altpuran silician carburan ceramikon (precipe la Rekristaligita SiC) kaj CVD-SiC tegaĵon. Krome, nia kompanio ankaŭ kompromitas al ceramikaj kampoj kiel ekzemple alumino, aluminio-nitruro, zirkonio kaj silicio-nitruro, ktp.

Niaj ĉefaj produktoj inkluzive de: silicio-karbura akvafortdisko, silicikarbura boato stupo, silicia karbura oblaboato (Fotovoltaiko kaj Semikonduktaĵo), silicia karbura fornotubo, silicia karbura kantilevra padelo, silicia karbura mandrilo, silicia karbura trabo, same kiel la CVD SiC-tegaĵo kaj TaC tegaĵo. La produktoj ĉefe uzataj en la duonkonduktaĵoj kaj fotovoltaikaj industrioj, kiel ekzemple ekipaĵo por kristala kresko, epitaksio, akvaforto, pakado, tegaĵo kaj disvastigo fornoj, ktp.
pri (2)

Transporto

pri (2)


  • Antaŭa:
  • Sekva: