silicio-karbido Ceramika efektoro por la translokigo de oblatoj en diversaj semikonduktaĵprocezoj

Karakterizaĵoj kaj avantaĝoj

1.Precizaj dimensioj kaj termika stabileco

2.Alta specifa rigideco kaj bonega termika unuformeco, longtempa uzo ne facilas fleksi deformadon;

3.Ĝi havas glatan surfacon kaj bonan eluziĝon, tiel sekure pritraktante la blaton sen partikla poluado.

4.Silicon-karburo-rezistiveco en 106-108Ω, ne-magneta, konforme al kontraŭ-ESD-specifaj postuloj;Ĝi povas malhelpi la amasiĝon de statika elektro sur la surfaco de la blato

5.Bona termika kondukteco, malalta ekspansia koeficiento.