RTPCVD SiC-ringojestas vaste uzataj en industriaj kaj sciencaj kampoj en alta temperaturo kaj korodaj medioj. Ĝi ludas gravan rolon en semikonduktaĵfabrikado, optoelektroniko, precizeca maŝinaro kaj kemia industrio. Specifaj aplikoj inkluzivas:
1. Semikonduktaĵo-fabrikado:RTP CVD SiC ringojpovas esti uzata por hejtado kaj malvarmigo de duonkonduktaĵo-ekipaĵo, provizante stabilan temperaturkontrolon kaj certigante la precizecon kaj konsistencon de la procezo.
2. Optoelektroniko: Pro ĝia bonega termika kondukteco kaj alta temperatura rezisto, RTPCVD SiC-ringojpovas esti uzata kiel subteno kaj varmo disipado materialoj por laseroj, fibra optika komunikado ekipaĵo kaj optikaj komponantoj.
3. Precizeca maŝinaro: RTP CVD SiC-ringoj povas esti uzataj por precizecaj instrumentoj kaj ekipaĵoj en alta temperaturo kaj korodaj medioj, kiel alttemperaturaj fornoj, vakuaj aparatoj kaj kemiaj reaktoroj.
4. Kemia industrio: Pro ĝia koroda rezisto kaj kemia stabileco, RTP CVD SiC-ringoj povas esti uzataj en ujoj, tuboj kaj reaktoroj en kemiaj reakcioj kaj katalizaj procezoj.
Epi Sistemo
RTP-sistemo
CVD-sistemo
Produkta rendimento:
1. Renkontu la procezon sub 28nm
2. Super koroda rezisto
3. Super pura agado
4. Super malmoleco
5. Alta denseco
6. Alta temperaturo rezisto
7. Eluziĝorezisto
Apliko de produktoj:
Silicikarburaj materialoj havas la karakterizaĵojn de alta malmoleco, eluziĝo-rezisto, koroda rezisto kaj alta temperatura stabileco. Produktoj kun bonega ampleksa agado estas vaste uzataj en seka akvaforto kaj TF / Disvastigo.
Produkta rendimento:
1. Renkontu la procezon sub 28nm
2. Super koroda rezisto
3. Super pura agado
4. Super malmoleco
5. Alta denseco
6. Alta temperaturo rezisto
7. Eluziĝorezisto
Disvolviĝo de Sinteza Procezo:
Grafito + Sic Tegaĵo
Solide CvD sic
Sinterigita SiC+CVD
SicSintered SiC
Disvolviĝo de multobla produkttipa:
Ringo
Tablo
Susceptor
Duŝkapo
