La 2~6 coloj 4° ekster-angulaj 4H-SiC-substratoj de Semicera estas desegnitaj por renkonti la kreskantajn bezonojn de alt-efikeca potenco kaj RF-aparataj fabrikistoj. La 4° ekster-angula orientiĝo certigas optimumigitan epitaksian kreskon, igante ĉi tiun substraton ideala fundamento por gamo da duonkonduktaj aparatoj, inkluzive de MOSFET-oj, IGBT-oj kaj diodoj.
Ĉi tiu 2~6 coloj 4° ekster-angula P-tipa 4H-SiC-substrato havas bonegajn materialajn proprietojn, inkluzive de alta varmokondukteco, bonega elektra rendimento kaj elstara mekanika stabileco. La ekster-angula orientiĝo helpas redukti mikropipdensecon kaj antaŭenigas pli glatajn epitaksiajn tavolojn, kio estas kritika por plibonigi la efikecon kaj fidindecon de la fina duonkondukta aparato.
La 2~6 coloj 4° ekster-angulaj 4H-SiC substratoj de Semicera estas haveblaj en diversaj diametroj, de 2 coloj ĝis 6 coloj, por plenumi malsamajn produktadpostulojn. Niaj substratoj estas precize desegnitaj por provizi unuformajn dopajn nivelojn kaj altkvalitajn surfacajn karakterizaĵojn, certigante, ke ĉiu oblato plenumas la striktajn specifojn postulatajn por progresintaj elektronikaj aplikoj.
La engaĝiĝo de Semicera al novigo kaj kvalito certigas, ke niaj 2~6 coloj 4° ekster-angulaj P-tipaj 4H-SiC-substratoj liveras konsekvencan agadon en larĝa gamo de aplikoj de potenca elektroniko ĝis altfrekvencaj aparatoj. Ĉi tiu produkto provizas fidindan solvon por la sekva generacio de energiefikaj, alt-efikecaj duonkonduktaĵoj, subtenante teknologiajn progresojn en industrioj kiel aŭtomobila, telekomunikado kaj renovigebla energio.
Grandec-rilataj normoj
Grandeco | 2-Col | 4-Col |
Diametro | 50,8 mm±0,38 mm | 100,0 mm+0/-0,5 mm |
Surfaca Orentado | 4°al<11-20>±0.5° | 4°al<11-20>±0.5° |
Primara Ebena Longo | 16.0 mm±1.5mm | 32.5mm±2mm |
Malĉefa Ebena Longo | 8.0 mm±1.5mm | 18,0 mm ± 2 mm |
Primara Ebena Orientiĝo | Paralela <11-20>±5.0° | Paralelto<11-20>±5.0c |
Sekundara Plata Orientiĝo | 90°CW de primara ± 5.0°, silicio vizaĝo supren | 90°CW de primara ± 5.0°, silicio vizaĝo supren |
Surfaca Fino | C-Vizaĝo: Optika Pola, Si-Vizaĝo: CMP | C-Vizaĝo:Optika Pola, Si-Vizaĝo: CMP |
Wafer Edge | Beveling | Beveling |
Surfaca malglateco | Si-Face Ra<0.2 nm | Si-Face Ra<0.2nm |
Dikeco | 350.0±25.0um | 350.0±25.0um |
Politipo | 4H | 4H |
Dopado | p-Tipo | p-Tipo |
Grandec-rilataj normoj
Grandeco | 6-cola |
Diametro | 150,0 mm+0/-0,2 mm |
Surfaca Orientiĝo | 4°al<11-20>±0.5° |
Primara Ebena Longo | 47,5 mm ± 1,5 mm |
Malĉefa Ebena Longo | Neniu |
Primara Ebena Orientiĝo | Paralele al <11-20>±5.0° |
Sekundara Plata Orientiĝo | 90°CW de primara ± 5.0°, silicio vizaĝo supren |
Surfaca Fino | C-Vizaĝo: Optika Pola, Si-Vizaĝo:CMP |
Wafer Edge | Beveling |
Surfaca malglateco | Si-Face Ra<0.2 nm |
Dikeco | 350.0±25.0μm |
Politipo | 4H |
Dopado | p-Tipo |