Tiu de Semicera10x10mm Nepolusa M-ebena Aluminia Substratoestas zorge desegnita por plenumi la postulojn de altnivelaj optoelektronikaj aplikoj. Ĉi tiu substrato havas nepolusan M-ebenan orientiĝon, kiu estas kritika por reduktado de polusaj efikoj en aparatoj kiel LEDoj kaj laseraj diodoj, kondukante al plifortigita efikeco kaj efikeco.
La10x10mm Nepolusa M-ebena Aluminia Substratoestas kreita kun escepta kristala kvalito, certigante minimumajn difektajn densecojn kaj superan strukturan integrecon. Ĉi tio igas ĝin ideala elekto por la epitaksia kresko de altkvalitaj III-nitruraj filmoj, kiuj estas esencaj por la evoluo de venontgeneraciaj optoelektronikaj aparatoj.
La precizeca inĝenierado de Semicera certigas, ke ĉiu10x10mm Nepolusa M-ebena Aluminia Substratoofertas konsekvencan dikecon kaj surfacan platecon, kiuj estas decidaj por unuforma filmdemetado kaj aparato-fabrikado. Plie, la kompakta grandeco de la substrato igas ĝin taŭga por esplor- kaj produktadmedioj, ebligante flekseblan uzon en diversaj aplikoj. Kun sia bonega termika kaj kemia stabileco, ĉi tiu substrato provizas fidindan fundamenton por la disvolviĝo de avangardaj optoelektronikaj teknologioj.
| Eroj | Produktado | Esploro | Dummy |
| Kristalaj Parametroj | |||
| Politipo | 4H | ||
| Eraro de surfaca orientiĝo | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektraj Parametroj | |||
| Dopanto | n-tipa Nitrogeno | ||
| Rezisteco | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanikaj Parametroj | |||
| Diametro | 150.0±0.2mm | ||
| Dikeco | 350±25 μm | ||
| Primara plata orientiĝo | [1-100]±5° | ||
| Primara plata longo | 47.5±1.5mm | ||
| Malĉefa apartamento | Neniu | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Pafarko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Varpi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Fronto (Si-vizaĝo) krudeco (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Strukturo | |||
| Mikropipaj denseco | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalaj malpuraĵoj | ≤5E10atomoj/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Antaŭa Kvalito | |||
| Fronto | Si | ||
| Surfaca finaĵo | Si-vizaĝo CMP | ||
| Partikloj | ≤60ea/oblato (grandeco≥0.3μm) | NA | |
| Gratoj | ≤5ea/mm. Akumula longo ≤Diametro | Akumula longo ≤2 * Diametro | NA |
| Oranĝa ŝelo/fosaĵoj/makuloj/strioj/fendetoj/poluado | Neniu | NA | |
| Randaj blatoj/indentaĵoj/frakturo/heksplatoj | Neniu | ||
| Politipaj areoj | Neniu | Akumula areo≤20% | Akumula areo≤30% |
| Fronta lasera markado | Neniu | ||
| Reen Kvalito | |||
| Malantaŭa fino | C-vizaĝo CMP | ||
| Gratoj | ≤5ea/mm, Akumula longo≤2*Diametro | NA | |
| Malantaŭaj difektoj (randaj blatoj/indentaĵoj) | Neniu | ||
| Dorsa malglateco | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Malantaŭa lasera markado | 1 mm (de supra rando) | ||
| Rando | |||
| Rando | Chanfro | ||
| Pakado | |||
| Pakado | Epi-preta kun vakua pakado Multi-oblata kaseda pakado | ||
| *Notoj: "NA" signifas neniun peton. Eroj ne menciitaj povas rilati al SEMI-STD. | |||
