SiC-plato estas speco de 0 poreco densa korpa ceramiko, kiu baziĝas sur SiC kaj sinterigita je 2250 ℃.SiC-enhavo estas pli ol 99.6%, fleksebla forto estas pli ol 410mpa kaj termika kondukteco estas 140W / MK, ĝi estas la sola ceramika materialo imuna al HF, H2SO4 kaj alia forta acida korodo.
Avantaĝoj de siliciokarbura ceramikaĵo:
1, la koeficiento de termika ekspansio estas malgranda, tre proksima al silicio;
2, bonega eluziĝo-rezisto, malmoleco dua nur al diamanto;
3, bonega termika kondukteco, alta temperatura rezisto kaj rapida varmo disipado;